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覆盖第三代半导体全产业链的装备解决方案

磷化铟气相多晶炉
半导体晶体设备

磷化铟气相多晶炉

InP 气相合成多晶原料设备

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磷化铟单晶炉
半导体晶体设备

磷化铟单晶炉

VGF法磷化铟单晶炉

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磷化铟液相多晶炉
半导体晶体设备

磷化铟液相多晶炉

InP 液相合成多晶原料设备

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封焊炉
半导体热处理设备

封焊炉

半导体封装焊接专用设备

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Independent R&D

自主研发

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核心产品型号
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自主研发,核心技术
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覆盖材料体系 (SiC/GaAs/Ga₂O/InP)
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深圳南山 · 方大城T2栋
半导体晶圆制造
About Bostar

关于铂星半导体

广东铂星半导体装备有限公司坐落于中国深圳,是一家专注于化合物半导体高端装备研发、制造与销售的高新技术企业。公司深耕化合物半导体晶体生长与晶圆处理装备领域,拥有一支由资深半导体设备专家、热场设计工程师、自动化控制专家组成的核心研发团队,致力于为全球化合物半导体产业提供高性能、高可靠性的国产化装备解决方案。

公司产品覆盖化合物半导体从材料合成、晶体生长、晶圆处理到外延生长的全工艺流程,核心产品包括磷化铟(InP)系列单晶炉多晶合成炉、氧化镓(β-Ga₂O₃)单晶炉、砷化镓(GaAs)/碲锌(CdZnTe)单晶炉、碳化硅(SiC)长晶炉、MOCVD外延设备。

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